SJT 31068-1994 离子注入机完好要求和检查评定方法
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ID： |
B6037B327BA14B5F9D7DB4007C11909B |
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文件大小(MB)： |
0.27 |
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页数： |
3 |
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文件格式： |
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日期： |
2024-7-28 |
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SJ/T 31068-94,中华人民共和国电子行业标准,离子注入机完好要求和检査评定方法,1主题内容与适用范围,本标准规定了 LC-2F型电能离子注入机和2OOMC-A型离子注入机的完好要求和检,査、评定方法,本标准适用于半导体器件集成电路生产用离子注入机,2术语,2.1 能量一到达靶上,离子所有的动能,2.2 束流ー单位时间内到达靶上的离子束的电荷量,2.3 均匀性一表征注入离子剂量不均匀程度的相对标准偏差,2.4 重复性一表征片间（或批次间）在相同条件下,注入离子剂量不重复程度的相对标准偏,差,3完好要求,3.1主要性能,3.1.1 能量范围: 5—2OOKeV ；,3.1.2 束流强度; B+ユ0. 5mA；,P+)L 45mA；,AS+21. 2mA；,SX). 7mA；,3-1-3 均匀性; WO- 75%;,3.1-4 重复性: a<0. 5%；,3.1-5 真空度; 6. 65X10-4Pa；,3.1-6 注片尺寸; 〇.んlOOmm；,3-1-7 注入角度;0。.15。,可调,3.2 操作系统,3.2.I 各操作开关、按钮启动灵活,定位可靠,标志齐全,3.2.2 制动、限位装置齐全,灵活可靠,3.3 传动系统,3.3.1 上、下料工作台传动机构运动平稳,无冲击和卡片现象,定位正确,无跳片现象,3.4 离子发生系统,中华人民共和国电子工业部1994-04-15批准,-1 —,1994-06-01 实施,SJ/T 31068-94,3.4.1 离子源放电稳定,引出离子符合要求,3.4.2 磁分析器工作正常,质量分辨率号大于100,3.4 -3聚焦波形良好,扫描均匀,中性束分离阱工作正常,3.5 真空系统,3. 5-1机械泵工作稳定,技术性能满足生产エ艺要求,具体完好要求参照SJ/T 31412-94执,行,3- 5-2扩散泵工作稳定功能可靠,3-5-3冷泵压缩机工作稳定可靠,过热保护灵敏,冷却温度显示正确,3.5.4 各电磁阀、气动阀、手动阀、热偶计、电离规工作正常、可靠,3.5.5 真空管路连接紧固,密封性好、无泄漏,3. 5-6各种仪表、热偶计等齐全、完整无缺损,指示灵敏、可靠,有有效期校验合格亜,3.6电气系统,3.6.1 电气系统装置齐全、管线完整,性能良好,运行可靠,3.6.2 电气箱内清洁,布线整齐,线路无破损、老化;各种线路标志明显,连接可靠,3.6 -3各指示灯、按钮开关齐全、完整,工作可靠,3.6.4各电压、电流表指示正确,有有效期校验合格证,3.7 冷却系统,3.7.1 冷却器具齐全,3-7-2冷却系统不能有直线状的漏液流,3.7.3 交换器、水泵、循环水、离子交换树脂筒工作正常,3.7.4 冷却液不变质,无腐臭味,3.8 安全防护,3. 8.1离子注入机没有专用接地装置,其接地电阻小于2,3.8.2防辐射装置正常到位,3.8-3机顶排气扇工作正常,3.8 "高压门锁开关运行可靠,3.9 维护保养,3. 9.1定期清洗离子源,更换机械泵油,3. 9. 2其它按SJ/T 31002—94《设备维护保养通则》执行,4检查、评定方法,4.1 检査方法,4.1- 1能量用Q—8型静电高压表校测高压电源的指示值,4-1-2束流强度是在能量为200KeV时,通过积分仪的电流表直接读得,4.1.3 均匀性可任意选择B或P进行注片,注入量为1X 10/mZ,注入能量为150KeV,每片,注入四靶,在相同条件下共注入四靶,用STZ型数字四探针测试仪对每靶进行均匀性检验。计,算程序、方法如下,用(1)式先计算每个测试点所得的四个薄层电阻Rk的平均值:,—2,SJ/T 31068-94,もRk,% = — ..(1),根据每个测试点的电阻R,用(2)式算出每个靶的平均电阻值R和用(3)式计算绝对标准偏差,ーい(4)式计算相对标准偏差0。计算公式分别为:,R =珠- ⑵,式中:"为每靶的测量点数,￡ (以一 Rア,4.1.4 选择不少于四批16靶重复性检测,方法同4.1. 3。用四批16靶所计算的每靶的平均,电阻尺,算出16靶的各平均电阻衣,绝对标准ヘー1和相对标准偏差%计算方法如下:,m,乎,R = m (5),式中:"Z为试验的靶数,一般不少于!6靶,4.1.5 真空度用离子规管或电离真空计检测,4-1-6射线照射率是在能量200KeV情况下,用FD-71型内烁辐射仪或FJ-347A型射线,测试仪检测,4.1 ,z对各系统完好要求,在设备现场采用主观法检査,4.2 评定方法,4. 2.1完好要求所列内容中,3.1.1.3.1. 5、3. 2. 23 8.!为主要项目,其余为次要项目,4.2- 2主要项目有一项不符合要求,为不完好设备;次要项目有二项不符合要求,亦为不完好,设备,4.2-3完好设备的维护保养,应达到优等设备标准,附加说明:,本标准由电子工业部经济运行与体制改革司提出,本标准由国营南京有线电厂组织起草,本标准主要起草人:颜亨迪(电子工业部第48所),金四海、顾军建、吴正伟(中国华晶电子集团公司),—3……
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